乐鱼体育app官方网站-德国PVA TePla发布为中国定制的首款碳化硅生产设备“SiCN”

发布者:乐鱼体育app官方网站 发布时间:2024-05-13

近日,在国际盛会SEMICON China 2024上,全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团亮相,并向行业展示了其为中国市场定制化的碳化硅晶体生长设备——SiCN。

德国PVA TePla集团半导体业务中国区负责人谢秀红表示:“SiCN是我们专为中国市场打造的,一方面是为中国市场提供成熟稳定的工艺设备,另一方面也是为了满足中国客户的本地化需求,帮助他们提升市场竞争力。”

中国市场电动汽车、5G、新能源等新业态的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇,作为在晶体生长领域拥有超过60年经验的高端设备厂商, PVA集团已经过多次关键性产业收购,迅速建立了稳固的技术护城河。据悉, PVA集团于1999年收购了莱宝贺利氏真空设备制造有限公司,该公司也成为了PVA晶体设备制造的主要技术来源;随后PVA集团又收购了位于丹麦的区熔炉设备制造板块,在当代,该技术在行业内部具备明显的竞争优势。2002年 PVA集团又陆续收购了等离子技术,进一步完善了公司两大板块工业系统和半导体系统设备。

注:色块为PVA可提供设备的板块

至今,PVA TePla掌握了几乎所有与工业领域应用的晶体生长技术,包括区熔法、直拉法、垂直梯度法,还有化学气相沉积法及PVT法。尤其在碳化硅材料的应用领域,德国PVA TePla的先进设备触及多个领域的应用,包括晶体生长、测试测量、石墨提纯和相关耗材辅材的材料涂层设备等。

此次,PVA TePla将德国的设计经验和理念与中国本土化生产配套能力优势联合,推出的碳化硅晶体生长设备SiCN采用了PVT法(物理气相传输工艺)生产碳化硅晶体,计划于2024年第二季度投入市场。值得注意的是,该款设备虽然是德国设计,但是有很多的零部件均来源于中国本土供应商。

谢秀红表示,该设备与德国生产执行的是统一的认证和检测标准,成功入选的供应商都经过了PVA集团严格的供应商认证过程。目前,该设备机械部件的国产化比例已经超过了80%。而在一些关键部件如测头、压力控制方面,PVA TePla还是要采用的最高标准的元部件。同时,谢秀红也表示很期待国产厂商的迅速发展与成熟,从而实现更高比例的国产替代。

目前,国内碳化硅衬底迈过萌芽期,进入到规模化生产中。当前衬底环节面临全面降本的实际需求,市场对于碳化硅衬底设备的稳定工艺要求更高,因为这直接影响着长晶的良率高低以及自动化规模产出的一致性。针对上述核心需求,PVA TePla介绍了SiCN的设备优势:

定制化:特定的晶体生长工艺通常是企业的高度机密,定制化晶体生长平台对于验证和优化其工艺至关重要。PVA TePla可为客户提供专业定制化解决方案,以满足行业独特的工艺和知识产权需求,从而实现无缝扩展以进行大规模生产。

灵活性:“SiCN”的设计可采用和更换成熟供应商的标准组件以及定制组件,保证设备可以使用最新的研发成果,实现持续的技术进步。

可靠生产:“SiCN”系统设计紧凑,自动化程度高,可最大化节约整体运营空间,同时方便维护,可实现可靠的大规模生产。客户还可整合如加料小车、多种真空泵选项和测量设备等其他部件,进一步提升系统功能。

高生产效能:晶体生长过程需要具备在超过2,000°C的高温条件下长时间运行,因此优异的能源效率可以实现更佳的成本效益。“SiCN”采用经验证的低能耗感应线圈设计,实现高效率的感应加热,有效降低能耗,优化生产成本。

目前,为了稳步扩大中国市场,PVA TePla已在中国建立生产基地、演示中心及供应链中心,旨在将高端设备国产化,以更好地助力中国半导体产业提升和发展,特别是碳化硅晶体和大尺寸单晶硅片的生产。同时,为了贴合本土市场需求,德国PVA TePla集团也在进一步完善本地团队技术服务,加强与下游合作伙伴的研发合作,并且提供更加专业化、定制化的本地支持,帮助合作伙伴更加便捷、快速的实现大规模生产能力。